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                  磁控濺射真空鍍膜機

                  Products

                  產品中心

                  *

                  真空磁控濺射鍍膜機廣泛應用于家用電器、鐘表、燈具、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表面裝飾性鍍膜及工模具的功能涂層。本公司的磁控濺射鍍膜機有幾大優勢如膜厚可控性和重復性好;薄膜與基片的附著力強;制備特殊材料的薄膜,可以使用不同的材料同時濺射制備混合膜,化合膜,TiN仿金膜;膜層純度高等。

                  型號 

                  CK-700

                  CK-900

                  CK-1000

                  CK-1250

                  CK-1400

                  CK-1600

                  真空室尺寸

                  Ф700×H

                  900mm

                  Ф900×H

                  1100mm

                  Ф1000×H

                  1200mm

                  Ф1250×H

                  1350mm

                  Ф1400×H

                  1600mm

                  Ф1600×H

                  1800mm

                  電源類型

                  脈沖偏壓電源、直流磁控電源

                  真空室結構

                  立式雙開門、立式前開門結構、后置抽氣系統

                  真空室材質

                  SS304優質不銹鋼材質腔體

                  極限真空

                  8.0×10-4Pa

                  8.0×10-4Pa

                  8.0×10-4Pa

                  8.0×10-4Pa

                  8.0×10-4Pa

                  8.0×10-4Pa

                  抽氣時間

                  從大氣抽至6.7×10-3Pa用時8到15分鐘(空載潔凈)

                  真空獲得系統

                  擴散泵+羅茨泵+機械泵+維持泵(具體型號可根據客戶的要求進行配置)

                  磁控靶類型

                  平面磁控靶,圓柱形磁控靶

                  偏壓電源功率

                  25KW

                  25KW

                  30KW

                  30KW

                  40KW

                  40KW

                  轉架轉動方式

                  行星式公自轉、變頻調速(可控可調,可設定上下轉架,軸數可由實際情況而定)

                  工藝氣體 

                  質量流量控制儀(3-4路),手動或自動加氣系統

                  冷卻方式 

                  水循環冷卻方式,另需配冷卻水塔或工業冷水機或深冷系統(客戶提供)

                  控制方式

                  手動或PLC+觸摸屏操作

                  報警及保護

                  水壓報警,氣壓報警,過流保護,執行相應保護措施及電氣聯鎖功能。

                  設備占地面積 

                  W3m×

                  L3.5m

                  W3m×

                  L3.5m

                  W3.5m×

                  L5m

                  W3.5m×

                  L5m

                  W4.5m×

                  L5.5m

                  W4.5m×

                  L5.5m

                  其他技術參數 

                  水壓≥0.2MPa、水溫≤25℃、氣壓0.5-0.8MPa

                  備注

                  具體配置大小均可根據客戶的鍍膜產品要求進行設計,另可加配中頻電源和弧電源滿足不同鍍膜工藝要求??啥ㄖ频恼婵帐页叽绶秶?nbsp;Ф 500-3000mm,高度500-3000mm

                   


                  產品型號: CK-產品分類:@磁控濺射真空鍍膜機
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