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                  真空鍍膜產品出現膜臟該怎么辦?

                  鍍膜產品的常見問題,部分是鍍膜工序的本身造成的,部分是前工程遺留的問題,鍍膜最終的品質是整個光學零件加工的(特別是拋光、清洗)的綜合反映,對于出現鍍膜不良時必須綜合考慮,才能真正找到不良產生的原因,對策改善才能取得成效。


                  膜臟(也稱白壓克)

                  顧名思義,膜層有臟。一般的膜臟發生在膜內或膜外。臟可以包括:灰塵點、白霧、油斑、指紋印、口水點等。(灰塵點和白霧單列)

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                  灰點臟

                  現象:鏡片膜層表面或內部有一些點子(不是膜料點)有些可以擦除,有的不能擦除。并且會有點狀脫膜產生。

                  產生原因:

                  1、真空室臟,在開始抽真空時的空氣渦流將真空室底板、護板的臟灰帶到鏡片上,形成灰點層。(膜內,不能擦除,會有點狀脫膜)

                  2、鏡圈或碟片臟,有浮點灰塵,在離子束作用下附著到了鏡片上形成灰點層。(膜內,不能擦除,會有點狀脫膜)

                  3、鏡片上傘時就有灰塵點,上傘時沒有檢查挑選。(膜內,不能擦除,會有點狀脫膜)

                  4、鍍制完成后的環境污染是膜外灰點的主要成因,特別是當鏡片熱的時候,更容易吸附灰塵,而且難以擦除。(膜外)

                  5、真空室充氣口環境臟、開始充氣量過大、充氣過濾器臟,充氣時鏡片溫度過高也是造成鏡片膜外灰塵點不良的原因。(膜外)

                  6、 作業員人為帶來的灰塵污染(膜內膜外)

                  7、 工作環境中灰塵過多

                  改善思路:杜絕灰塵源

                  改善對策:

                  1、工作環境改造潔凈車間,嚴格按潔凈車間規范實施。

                  2、盡可能做好環境衛生。盡量利用潔凈工作臺。

                  3、 真空室周期打掃,保持清潔。

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                  膜外白霧

                  現象:鍍膜完成后,表面有一些淡淡的白霧,用丙酮或混合液擦拭,會有越擦越嚴重的現象。用氧化鈰粉擦拭,可以擦掉或減輕,(又稱:可擦拭壓克)

                  分析:膜外白霧的成因較為復雜,可能的成因有:

                  ①、膜結構問題:外層膜的柱狀結構松散,外層膜太粗糙;

                  ②、蒸發角過大,膜結構粗糙。

                  ③、溫差:鏡片出罩時內外溫差過大

                  ④、潮氣;鏡片出罩后擺放環境的潮氣

                  ⑤、真空室內Polycold解凍時水汽過重

                  ⑥、蒸鍍中充氧不完全,膜結構不均勻

                  ⑦、膜與膜之間的應力

                  改善思路:膜外白霧成因很多,但各有些特征,盡量對癥下藥。主要思路,一是把膜做的致密光滑些不容易吸附,二是改善環境減少吸附的對象。

                  改善對策:

                  1、改善膜系,外層加二氧化硅,使膜表面光滑,不易吸附。改善鏡片出罩時的環境(干燥、清潔)

                  2、降低出罩時的鏡片溫度(延長在真空室的冷卻時間)減少溫差、降低應力。

                  3、改善充氧(加大),改善膜結構。

                  4、適當降低蒸發速率,改善柱狀結構

                  5、離子輔助鍍膜,改善膜結構

                  6、加上polycold解凍時的小充氣閥(其功能是及時帶走水汽)

                  7、從蒸發源和夾具上想辦法改善蒸發角。

                  8、改善基片表面粗糙度。

                  9、注意polycold解凍時的真空度。

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                  膜內白霧

                  白霧形成在膜內,無法用擦拭方法祛除。

                  可能的成因:

                  ①、基片臟,附著前工程的殘留物

                  ②、鏡片表面腐蝕污染

                  ③、膜料與膜料之間、膜料與基片之間的不匹配。

                  ④、氧化物充氧不夠。

                  ⑤、第一層氧化鋯膜料,可能對某些基片產生白暈現象

                  ⑥、基片進罩前(洗凈后)受潮氣污染

                  ⑦、洗凈或擦拭不良,洗凈痕跡、擦拭痕跡

                  ⑧、真空室臟、水氣過重

                  ⑨、環境濕度大

                  改善思路:基片本身的問題可能是主要的,鍍膜是盡量彌補,鍍膜本身最大的可能是膜料匹配問題。

                  改善對策:

                  1、改進膜系,第一層不用氧化鋯。

                  2、盡量減少真空室開門時間,罩與罩之間在最短的時間內做好真空室的清潔、鍍膜準備工作。

                  3、真空室在更換護板、清潔后,最好能空罩抽真空烘烤一下,更換的護板等真空室部件必須干燥、干凈。

                  4、改善環境

                  5、妥善保護進罩前在傘片上的鏡片,免受污染。

                  6、改善洗凈、擦拭效果。

                  7、改善膜匹配(考慮第一層用Al2O3)

                  8、改善膜充氧和蒸發速率(降低)

                  9、加快前工程的流程。前工程對已加工光面的保護加強。

                  10、拋光加工完成的光面,必須立即清潔干凈,不能有拋光粉或其他雜質附著干結。


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